您現(xiàn)在的位置： 首頁(yè) > 關(guān)于全芯
12英寸勻膠顯影機(jī) ACD12 COATER&DEVELOPER
| 設(shè)備配置 | 2C2D、4C、4D |
| 設(shè)備產(chǎn)能 | 110WPH |
| 襯底材質(zhì) | Si、Glass等 |
| 線寬 | ≥90nm |
| 適用工藝 | i一line、KrF、ArF、PI、SOG、SOC |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | IC、先進(jìn)封裝、MEMS、功率器件、半導(dǎo)體光學(xué)、科研等 |
| 技術(shù)特征 | ?設(shè)備占地面積小，產(chǎn)能高，工藝單元靈活選配； ?熱板采用漸進(jìn)式烘烤，冷盤(pán)漸進(jìn)式冷卻； ?能適應(yīng)5mm以下翹曲晶圓或超薄晶圓傳送和加工工藝； ?標(biāo)配電動(dòng)泵，標(biāo)配勻膠顯影管路溫控功能； ?可實(shí)現(xiàn)兩種尺寸完全兼容； ?可選配高精度熱板、光學(xué)對(duì)中、WEE等單元部件； ?可選配interface模塊,實(shí)現(xiàn)Inline功能。 |
| 設(shè)備尺寸 | 2100*2850*2500mm（W*D*H） |