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6英寸勻膠顯影機 標(biāo)準(zhǔn)型 ACD6 COATER&DEVELOPER
| 設(shè)備配置 | 2C2D、4C、4D |
| 設(shè)備產(chǎn)能 | 180WPH |
| 襯底材質(zhì) | Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等 |
| 線寬 | ≥0.35um |
| 適用工藝 | G-line、i-line、PI |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | MEMS、功率器件、射頻集成、光通訊、LED、科研等 |
| 技術(shù)特征 | ?設(shè)備采用高速機械手、產(chǎn)能高，穩(wěn)定性好； ?配置有RRC功能，光刻膠4寸用量可控制在0.6ml； ?設(shè)備故障、生產(chǎn)工藝參數(shù)等記錄等可長期保存?zhèn)洳椋?/span> ?光刻膠采用精密計量泵供應(yīng)，精度高，供液穩(wěn)定，出膠量設(shè)定方便； ?可做兩種尺寸完全兼容，不需要更換零件； ?可選配光刻膠顯影液溫控, HMDS等單元部件。 |
| 設(shè)備尺寸 | 1650*1450*2040mm（W*D*H） |